Journal de Chimie Physique et de Physico-Chimie Biologique

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Élaboration à basse température de couches minces D'ln₂O₃ par évaporation thermique réactive et par évaporation réactive assistée par plasma

T Ben Nasrallah and JC Bernede

J. Chim. Phys., 90 (1993) 1-14

Published online: 29 May 2017

DOI: 10.1051/jcp/1993900001

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