Quantification et anomalies en spectroscopie des électrons Auger^(*)

Laboratoire de Physico-Chimie des Surfaces ENSCP, Université Pierre et Marie Curie, 11, rue Pierre et Marie Curie, 75231 Paris Cédex 05, France.

Résumé

Certains aspects quantitatifs de la spectroscopie des électrons Auger ont été examinés à l’aide de la méthode de la “monocouche métallique étalon”. Les résultats obtenus pour différents systèmes adsorbat métallique sur substrat métallique montrent l’existence d’anomalies liées à des effets de diffraction ou de rétroémission des électrons Auger. En conséquence, la quantification de la spectroscopie des électrons Auger à l’aide des paramètres élémentaires ou des facteurs de sensibilité peut être entachée d’erreurs importantes.

Abstract

Several approaches have been proposed for the quantification of Auger electron spectroscopy : (i) analysis with standards; (li) the use of elemental sensitivity factors ; (iii) the use of "first principles” models ; (iv) the use of a "metal monolayer étalon". Using the last method, the results obtained from experiments on different metal-on-metal adsorbate-substrate systems point to the existence of anomalies that indicate important effects of scattering and diffraction at the adsorbate-substrate interface. As a consequence it appears that quantification via the use of elemental parameters or bulk standards may be unreliable. Extreme caution must be taken when using quantitative Auger electron spectroscopy informations.