Utilisation de faisceaux d'ions oxygène réactifs pour la gravure de polymères utilisables en optoélectronique C. Moussant, B. Lucas, B. Ratier, A. Moliton and B. François J. Chim. Phys., 95 6 (1998) 1483-1486 DOI: 10.1051/jcp:1998310