Étude de la pyrolyse du monosilane entre 480 et 580°C

Centre de recherches sur la chimie de la combustion et des hautes températures, CNRS, 45045 Orléans Cedex, France.

Résumé

L’étude de la pyrolyse du silane en régime dynamique entre 480 et 580°C a été entreprise de façon à permettre le calcul des constantes cinétiques de la réaction. Les auteurs distinguent les phénomènes initiaux et ceux obtenus après la période d’induction, où apparaissent en fonction de la température deux domaines, 480-540°C et 540-580°C, caractérisés chacun par des valeurs différentes des ordres et des énergies d’activation de la décomposition du silane et de la formation des produits gazeux, hydrogène et disilane. Des mécanismes réactionnels sont proposés et discutés pour chacun de ces domaines.

Abstract

With a view to obtain kinetic information and the specific rate constants, the pyrolysis reaction of silane has been studied in a flow system at 480-580°C. Two distincts temperature ranges one lying between 480-540°C and the other one between 540-580°C are clearly observed leading to different values of the order and activation energy of the decomposition reaction of silane which leads to hydrogen and disilane. Reaction mechanisms are given and discussed for each one of these two ranges.