Les applications des faisceaux d'ions dans la physique des polymères

Ion beam applications in polymer physicsT

UMOP, Faculté des Sciences, 123 avenue Albert Thomas, 87060 Limoges cedex, France

Résumé

Nous présentons les configurations expérimentales (illustrées par des schémas) de trois applications des faisceaux d'ions au traitement physique des polymères : dopage par implantation (cité pour mémoire), gravure par faisceaux d'ions réactifs (RIBE), dépôt des couches moléculaires (ou oligomères) assistés par faisceau (IBAD).

Abstract

Experimental configurations of ions beams are illustrated by diagrams in the case of low energy implantation, Reactive Ion Beam Etching (RIBE), Ion Beam Assisted Deposition (IBAD) of molecular layers (or oligomers).